- Ten Piec próżniowy wysokotemperaturowy stosowany do spiekania materiału azotku krzemu.
- Spiekanie ceramiki azotku krzemu będzie prowadzone w atmosferze azotu w wysokiej temperaturze.
- Maksymalna temperatura pieca wynosi 1700 stopni C.
- Piec składa się z wewnętrznej komory próżniowej. Komora ma izolację z płyt z włókien ceramicznych o wysokiej temperaturze.
- Grzałki MoSi2 służą do uzyskania żądanej temperatury.
- System posiada również układ próżniowy pozwalający na osiągnięcie podciśnienia wewnątrz komory na poziomie 10-3 mbar.
- Układ próżniowy będzie się składał z mechanicznej pompy rotacyjnej i pompy oporowej marki Leybold.
- Zastosowano także dwustopniowy układ kolektora gazowego służący do usuwania azotu z pieca podczas procesu spiekania.
- Piec będzie pracował w warunkach suchego, zimnego powietrza, w zakresie próżni 10-3 mbar, przy użyciu systemu próżniowego. Następnie azot będzie przedmuchiwany wewnątrz komory przy użyciu rotametru z kontrolowaną szybkością przepływu, a następnie rozpocznie się proces spiekania azotku krzemu.
- Temperatura procesu spiekania będzie wynosić ok. 1650°C.
- W celu uzyskania pożądanego cyklu temperaturowego zostanie użyty programowalny regulator temperatury PID.
