- Yang Relau vakum suhu tinggi digunakan untuk pensinteran bahan silikon nitrida.
- Pensinteran seramik Silikon Nitrida akan dilakukan dalam Atmosfera Nitrogen pada suhu tinggi.
- Suhu maksimum relau ialah 1700 darjah C.
- Relau ini terdiri daripada ruang vakum dalaman. Ruang ini mempunyai penebat papan gentian seramik suhu tinggi.
- Pemanas MoSi2 digunakan untuk mencapai suhu yang dikehendaki.
- Sistem ini juga mempunyai sistem vakum untuk mencapai vakum 10-3 mbar di dalam ruang.
- Sistem vakum akan terdiri daripada pam putar mekanikal dan pam akar sokongan buatan Leybold.
- Terdapat juga sistem manifold gas dua peringkat untuk membersihkan gas nitrogen di dalam relau semasa proses pensinteran.
- Relau akan divakum dalam keadaan sejuk kering dengan julat vakum 10-3 mbar menggunakan sistem vakum, selepas itu Nitrogen akan dikeluarkan di dalam ruang dengan kadar aliran terkawal menggunakan rotameter dan proses pensinteran silikon Nitrida bermula.
- Suhu proses pensinteran akan menjadi lebih kurang 1650 Deg C.
- Pengawal suhu PID yang boleh diprogramkan akan digunakan untuk mendapatkan kitaran suhu yang dikehendaki.
