
- Itu Tungku vakum suhu tinggi digunakan untuk proses sintering material silikon nitrida.
- Sintering keramik Silikon Nitrida akan dilakukan dalam Atmosfer Nitrogen pada suhu tinggi.
- Suhu maksimum tungku adalah 1700 derajat C.
- Tungku ini terdiri dari ruang vakum bagian dalam. Ruang ini memiliki insulasi papan serat keramik bersuhu tinggi.
- Pemanas MoSi2 digunakan untuk mencapai suhu yang diinginkan.
- Sistem ini juga memiliki sistem vakum untuk mencapai tekanan vakum 10-3 mbar di dalam ruangan.
- Sistem vakum akan terdiri dari pompa putar mekanis dan pompa akar pendukung buatan leybold.
- Ada juga sistem manifold gas dua tahap untuk membersihkan gas nitrogen di dalam tungku selama proses sintering.
- Tungku akan divakum dalam kondisi kering dingin dengan rentang vakum 10-3 mbar menggunakan sistem vakum, setelah itu Nitrogen akan dibersihkan di dalam ruang dengan laju aliran yang terkontrol menggunakan rotameter dan proses sintering silikon Nitrida dimulai.
- Suhu proses sintering akan sekitar 1650 derajat Celsius.
- Pengontrol suhu PID yang dapat diprogram akan digunakan untuk mendapatkan siklus suhu yang diinginkan.







