- El Horno de vacío de alta temperatura Se utiliza para la sinterización del material de nitruro de silicio.
- La sinterización de cerámica de nitruro de silicio se realizará en atmósfera de nitrógeno a alta temperatura.
- La temperatura máxima del horno es de 1700 grados C.
- El horno consta de una cámara de vacío interna. Esta cámara está aislada con paneles de fibra cerámica de alta temperatura.
- Para lograr la temperatura deseada se utilizan calentadores de MoSi2.
- El sistema también cuenta con sistema de vacío para lograr el vacío de 10-3 mbar dentro de la cámara.
- El sistema de vacío constará de una bomba rotatoria mecánica y una bomba de respaldo roots de marca Leybold.
- También hay un sistema colector de gas de dos etapas para purgar el gas nitrógeno dentro del horno durante el proceso de sinterización.
- El horno se someterá a vacío en condiciones de frío seco con un rango de vacío de 10-3 mbar utilizando un sistema de vacío, después de eso se purgará nitrógeno dentro de la cámara con un caudal controlado utilizando un rotámetro y comenzará el proceso de sinterización de nitruro de silicio.
- La temperatura del proceso de sinterización será de aproximadamente 1650 grados C.
- Se utilizará un controlador de temperatura PID programable para obtener el ciclo de temperatura deseado.
