Blog 18. August 2021

Hochtemperatur-Vakuumsintern

Der Hochtemperatur-Vakuumofen wird zum Sintern des Siliziumnitridmaterials verwendet.
Das Sintern von Siliziumnitridkeramik erfolgt in einer Stickstoffatmosphäre bei hoher Temperatur.
Die maximale Temperatur des Ofens beträgt 1700 Grad Celsius.
Der Ofen besteht aus einer inneren Vakuumkammer. Die Kammer ist mit Hochtemperatur-Keramikfaserplatten isoliert.
Um die gewünschte Temperatur zu erreichen, werden MoSi2-Heizgeräte verwendet.
Das System verfügt außerdem über ein Vakuumsystem, um in der Kammer ein Vakuum von 10-3 mbar zu erreichen.
Das Vakuumsystem besteht aus einer mechanischen Rotationspumpe und einer Rootspumpe der Marke Leybold.
Es gibt außerdem ein zweistufiges Gasverteilersystem, um das Stickstoffgas im Ofen während des Sinterprozesses auszuspülen.
Der Ofen wird unter trockenen, kalten Bedingungen mit einem Vakuumbereich von 10-3 mbar unter Vakuum gesetzt. Anschließend wird Stickstoff mit kontrollierter Durchflussrate unter Verwendung eines Rotameters in die Kammer gespült und der Sinterprozess des Siliziumnitrids beginnt.
Die Temperatur des Sinterprozesses beträgt ca. 1650 °C.
Um den gewünschten Temperaturzyklus zu erreichen, wird ein programmierbarer PID-Temperaturregler verwendet.

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